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          CVD Chemical Vapor Deposition CVD真空氣相鍍膜
          CVD真空氣相沉積設(shè)備
          緊湊型側(cè)式真空氣相沉積設(shè)備

          LPMS CVD05

          緊湊型側(cè)式真空氣相沉積設(shè)備

          • 直徑0.5米不銹鋼真空反應(yīng)罐,堅固耐用,鍍膜速度快。

          • 機臺一體式設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,占地小。

          • 真空管路采用不銹鋼連節(jié),方便維護及保養(yǎng)。

          • 側(cè)開式門設(shè)計便于取放產(chǎn)品與腔體清潔等維護作業(yè)。

          • 反應(yīng)罐內(nèi)置轉(zhuǎn)盤機構(gòu)使產(chǎn)品在鍍膜過程中勻速旋轉(zhuǎn),鍍層更均勻。

          • 使用數(shù)位LED真空計顯示工作狀況時的真空度。

          • 操作簡易,可依實際需求變換自動 /手動操作模式。

          • 紅外線加熱圈,加溫速度快。

          • 采用高精度溫控裝置多段控溫,溫控精確。

          • 定時加熱、超溫報警和自動停止加熱等保護功能

          • 自診功能和各種故障報警。

          • 選配遠程控制和手機APP功能



          標簽:   派瑞林Parylene

          運用范圍

           真空氣相沉積設(shè)備是一種用于電子產(chǎn)品防水保護的鍍膜設(shè)備。工作時把含有構(gòu)成薄膜元素的化合物(長鏈性高分子材料,一般為派瑞林Parylene)、單質(zhì)氣體經(jīng)過升華、熱解后進入放置產(chǎn)品的真空反應(yīng)室,借助空間氣相化學反應(yīng), 在產(chǎn)品表面上沉積生成0.1-100um厚度均勻,無應(yīng)力、優(yōu)異的電絕緣性和防護性、防潮、防霉、防腐、防鹽霧薄膜涂層。

          廣泛應(yīng)用于:航空、電路板、LED 、磁性材料、傳感器、硅橡膠、密封件、醫(yī)療器械、珍貴文物等領(lǐng)域產(chǎn)品的防水封裝與保護工藝中。

            



          產(chǎn)品規(guī)格

          設(shè)備總尺寸 ( 寬度 , 深度 , 高度 )

          1170 mm x 1860 mm x 1970mm

          反應(yīng)罐體內(nèi)尺寸

          ?500 mm x 600 mm

          反應(yīng)罐罐口尺寸

          454 mm x 600 mm

          輸入電壓

          三相380 VAC / 50 Hz

          設(shè)備最大功率

          15 Kw

          溫控分區(qū)

          6

          分解爐溫控范圍

          室溫至700℃

          升華爐溫控范圍

          室溫到150℃

          原料門溫控范圍

          室溫到250℃

          制冷壓縮機功率

          1000 W

          制冷量

          887 W

          最低制冷溫度

          -90℃

          真空泵型號

          2RH 030C

          真空泵抽氣速率

          30 m3

          最大真空壓力

          5 Pa

          真空泵電機功率

          1.1 KW (三相380VAC)

          真空泵電機轉(zhuǎn)速

          1420 R/Min

          控制系統(tǒng)

          10 ”人機界面,PLC 控制

          遠程控制和APP

          選配



          標簽:   派瑞林Parylene
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